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导言
半导体基础SECS协议(导言)
SECS,全称SEMI Equipment Communication Standards(SEMI设备通讯标准),SECS基础一般包括以下四个标准 —— SECS-I、SECS-II、GEM以及HSMS,它们间的层次结构大致如下图所示: 其中,SECS-I与HSMS都规定了设备在物理链路上的消息格 ......
导言
半导体
基础
SECS
更新时间 2023-11-03
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