SECS，全称SEMI Equipment Communication Standards（SEMI设备通讯标准），SECS基础一般包括以下四个标准 —— SECS-I、SECS-II、GEM以及HSMS，它们间的层次结构大致如下图所示：
其中，SECS-I与HSMS都规定了设备在物理链路上的消息格式、传输行为等内容，区别在于使用的物理实现方式不同 —— SECS-I使用R232串口完成连接，而HSMS使用TCP/IP协议实现连接；
SECS-II定义了设备间的消息格式；
GEM则为设备间的行为定义了一系列应当使用的具体消息及其对应的响应消息，应用程序将按照设备采用的GEM、设备间消息协议、物理消息协议来完成具体的实现。
下一节：半导体基础SECS协议（SECS - I）
Tips：笔者对SEMI协议理解尚浅，若有谬误，望各位批评指正，共同进步