导言

SECS，全称SEMI Equipment Communication Standards（SEMI设备通讯标准），SECS基础一般包括以下四个标准 —— SECS-I、SECS-II、GEM以及HSMS，它们间的层次结构大致如下图所示： 其中，SECS-I与HSMS都规定了设备在物理链路上的消息格 ......