电感耦合等离子体质谱 (ICP-MS) 是最重要的光谱技术之一。它是一种具有极高灵敏度和大线性动态范围的多元素技术，可以同时分析主要成分和超痕量元素。它能够分析从 Li 到 U 的元素，可应用于溶液和固体。固体样品可以直接分析（通过将 ICP-MS 耦合到紫外激光烧蚀系统）或在溶解或消化后使用酸、加热和/或压力的组合进行分析。
应用领域：
- 微量元素（固体中μg/g；液体中mg/L）和痕量元素（固体中ng/g；液体中ng/L-μg/L）元素的定量分析
- 在固体、液体和浆液中
- 表面、薄膜和散装
- 可浸出物和可提取物
- 例如，对航空航天、汽车、国防、能源、采矿、石油、制药和半导体行业具有重要工业意义的各种材料和工艺的纯度认证、清洁验证和污染识别
- 超纯水、冷却水、酸、有机溶剂和光刻剥离溶液
- 高纯度氧化物和盐类，包括玻璃和高性能陶瓷
- 高纯度碳材料，包括石墨
- 半导体材料
- 高纯度金属靶材和高级合金
- 有机聚合物
- 药物、食品补充剂、生物材料和医疗器械
- 其他材料
实验人员为了减少元素对实验结果的影响，会选用高纯低本底的PFA耗材，以下是常见的搭配
PFA试剂瓶
PFA容量瓶